La máquina de pulir de lapiendo de obleas es una pieza central de equipo en los campos de la fabricación de semiconductores, la producción de componentes ópticos y otro procesamiento de superficie de precisión -} alto. Su rendimiento de lapesa depende de la coincidencia adecuada de los abrasivos seleccionados y los materiales de la herramienta de lapiendo. A continuación se muestra una descripción detallada de los materiales adecuados para este equipo:
I. Tipos abrasivos
Los abrasivos son los medios clave que participan directamente en el corte y habilitan la eliminación del material.
Alúmina - abrasivos basados (al₂o₃)
Poseen alta dureza y buena estabilidad química, haciéndolos abrasivos versátiles. Adecuado para el lapso áspero y el acabado semi - de materiales metálicos, como el acero endurecido y el hierro fundido. En las máquinas de pulido de lapiendo obleas, los abrasivos de alúmina a menudo se usan en etapas de procesamiento que requieren una alta planitud de la superficie pero no exigen un acabado de espejo final.
Carbide - abrasivos basados (por ejemplo, carburo de silicio (sic), carburo de boro (b₄c))
Estos abrasivos tienen dureza extremadamente alta y fuerte resistencia al desgaste. El carburo de silicio se usa principalmente para procesar materiales duros y frágiles como vidrio, cerámica y no - metales ferrosos; El carburo de boro, por otro lado, se usa para lamer los materiales más duros (como carburos cementados y recubrimientos cromados duros). Este tipo de abrasivo permite altas tasas de eliminación de materiales.
Diamond - abrasivos basados
Como la sustancia más difícil de la naturaleza, los abrasivos de diamantes son la primera opción para procesar súper - materiales duros. En la etapa de procesamiento áspero (lappiendo) de las máquinas de pulido de lapes de obleas, los abrasivos de diamantes se usan ampliamente para regañar a las obleas semiconductores (por ejemplo, obleas de silicio, obleas de carburo de silicio), piedras preciosas sintéticas, cerámica, etc., que permite un alto procesamiento de planar de precisión -.
Otros abrasivos comunes
Cerium óxido (CEO₂): un alto - pulido de calidad abrasivo con un excelente rendimiento de pulido mecánico químico (CMP). Logra un acabado superficial extremadamente alto a través de la combinación de acción química suave y fricción mecánica, y a menudo se usa para el pulido final de obleas de silicio y sustratos de vidrio.
Coloide de sílice (sio₂): comúnmente utilizado en el proceso CMP para ultra - pulido fino de silicio, capas de sílice y capas metálicas (por ejemplo, interconexiones de cobre). Tiene una cantidad de eliminación mínima y ofrece una excelente calidad de superficie.
II. Materiales de la herramienta de lapiendo
Las herramientas de lapiendo (también conocidas como placas de pulido) son componentes clave que contienen piezas de trabajo y abrasivos, y transmiten movimiento. La selección de sus materiales afecta directamente la planitud y el acabado de la superficie procesada.
Herramientas de lapes de hierro fundido
Con alta dureza del material, resistencia al desgaste y una estructura densa, las herramientas de lapes de hierro fundido incrustan fácilmente los granos abrasivos y pueden mantener una buena planitud. Son principalmente adecuados para eltar materiales metálicos, como piezas de acero endurecidas y no endurecidas y piezas de hierro fundido, y son una opción común para los sustratos de metal aplanamiento en las máquinas de pulido de la oblea.
Herramientas de lapesa de latón/lata
Estas herramientas de lapes tienen una textura relativamente suave y a menudo se usan para lapas de materiales de metal blandos (p. Ej., Aluminio, aleaciones de cobre) o como material base para almohadillas de pulido. Las herramientas de lapiendo más suaves pueden evitar rasguños en la superficie de las piezas de trabajo de precisión y se usan ampliamente en la etapa de pulido final.
Herramientas de lapes sintéticas de polímeros (almohadillas de pulido)
Las máquinas de pulido de lapes de obleas modernas, especialmente las utilizadas en el proceso CMP, generalmente usan almohadillas de pulido hechas de materiales polímeros como el poliuretano. Este material tiene un cierto grado de elasticidad, porosidad y resistencia al desgaste, y puede almacenar y transportar mejor el fluido de pulido. Es un elemento central para lograr la planarización global.
Seleccionar la combinación apropiada de materiales de lapes es crucial para maximizar el rendimiento de una máquina de pulir de la oblea:
Procesamiento rugoso (lappiendo): para obtener una alta tasa de eliminación de materiales, los abrasivos con alta dureza (p. Ej., Diamante, carburo de boro) a menudo se combinan con herramientas de lapesos como el hierro fundido.
Acabado/pulido: para lograr un ultra - superficie lisa, abrasivos finos y suaves (por ejemplo, óxido de cerio, coloid de sílice) deben emparejarse con almohadillas de pulido suaves o sintéticas.
Por lo tanto, una máquina de pulir de lapiendo de la oblea de rendimiento de alto - puede satisfacer las necesidades de procesamiento de procesos - llenas de lappiendo áspero hasta ultra - pulido de precisión a través de la configuración flexible de los abrasivos y las herramientas de lappiendo, lo que lo convierte en un equipo ideal para fabricar componentes de precisión de alto-.
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